半導體設備行業(yè)是技術含量較高的行業(yè)，目前我國90%以上的半導體設備依賴進口，尤其在高端IC設備領域，幾乎沒有國內設備的聲音。因此，從其他半導體設備領域取得突破后，再“反哺”IC設備可以說是中國半導體設備行業(yè)最切實可行的路。
光伏設備一枝獨秀
近兩年光伏設備的異軍突起使之成為國內半導體設備行業(yè)發(fā)展的領頭羊。中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會秘書長金存忠在接受《中國電子報》記者采訪時表示，由于國內生產IC設備的企業(yè)不多，而且本身生產的量也很少，導致國內IC設備在設備領域所占比重逐漸減小，取而代之的是太陽能光伏設備以及LCD(液晶顯示器)、LED(發(fā)光二極管)設備，這些市場的強勁需求帶動了國產設備的發(fā)展。
中電科技集團公司第48研究所副所長王俊朝表示，國內半導體設備產業(yè)總體的量不大，大部分用在研發(fā)線和小型線上，而且由于國內IC生產線一般都是整線引進，因此國產設備要進入IC大生產線難上加難。“東方不亮西方亮”，IC市場的不景氣被光伏市場的欣欣向榮所替代，國內設備廠商迎來了快速發(fā)展甚至是超速發(fā)展的時期：國產太陽能電池生產設備及硅片加工設備已經在行業(yè)樹立起品牌美譽度。他介紹說，目前，我國光伏設備企業(yè)從硅材料生產、硅片加工到太陽能電池芯片的生產以及相應的純水制備、環(huán)保處理、凈化工程的建設，已經初步具備成套供應能力，部分產品如擴散爐、等離子刻蝕機、單晶爐、多晶鑄錠爐等開始少量出口?！皣a太陽能電池組件比國外低30%左右，很大一部分原因在于國產設備價格低，用國外設備建一條線的錢，可以用國內設備建3條線?！蓖蹩〕瘜a設備的價格優(yōu)勢進行了分析。
關鍵設備突破在即
盡管國產太陽能設備逐漸崛起，但其中的一些關鍵設備還有待突破。王俊朝表示，太陽能電池制造設備中全自動絲網印刷機是亟待攻克的難題，目前已經有多家企業(yè)在攻關，估計最近一兩年會有方案出來；而多晶硅連續(xù)制絨設備也已經有樣品出來，過不了多久就可以用在生產線上了。在多晶硅材料加工設備中多線切割機是要逾越的關卡，目前也已經有樣機出來。這些都是值得期待的。“中國太陽能光伏設備行業(yè)起步不晚，并且背靠中國這個產能最高、產量最大的太陽能電池市場。國產太陽能設備行業(yè)的崛起指日可待?！蓖蹩〕瘜ξ磥沓錆M了期待。光伏設備的發(fā)展離不開國內市場的全面啟動，為此，王俊朝建議，應盡早實施切實可行的“上網電價補貼法”并提高半導體尤其是太陽能光伏產品的出口退稅率；制定全面的科技創(chuàng)新鼓勵政策，選定相關行業(yè)領軍企業(yè)給予重點支持。
七星華創(chuàng)副總經理張國銘在接受記者采訪時表示，目前七星華創(chuàng)正在開發(fā)晶體硅及薄膜太陽能設備，如清洗及PECVD設備的新型號，并且為滿足國內TFT-LCD產業(yè)的飛速發(fā)展，七星華創(chuàng)積極與國外廠商合作，加強5代、6代線設備的研發(fā)，目前，他們已經能為客戶提供產品。
半導體設備前景看好
當前，中國半導體產業(yè)正處于升級換代的時期，半導體產業(yè)升級的速度也決定了相關設備制造業(yè)的發(fā)展；與此同時，中國政府出臺的電子信息產業(yè)振興規(guī)劃也為中國半導體行業(yè)的發(fā)展帶來了新的希望。這樣看來，后危機時代的中國半導體及設備制造行業(yè)將無疑會迎來更大的挑戰(zhàn)和機遇。
業(yè)內人士表示，國產半導體設備企業(yè)應該充分利用本土企業(yè)的地域優(yōu)勢和價格優(yōu)勢，加緊縮小與國外設備的技術差距，加強服務意識，為國內顧客提供量身定做的產品，以產品差異化切入市場，建立起快速反應的服務機制，給國內用戶以足夠的信心。
中電科技集團公司第45所副所長裴二章告訴記者，根據他們目前所掌握的市場情況分析，半導體分立器件領域首先走出了金融危機的影響，生產廠商加快了提升產品檔次的速度，正大幅增加設備投入，擴大生產規(guī)模，以滿足目前供不應求的市場需要。45所正適應市場需求，及時調整產品結構，加快新產品的開發(fā)力度，縮短中試產品的生產周期，力爭實現2009年的銷售目標。
張國銘表示，盡管國產設備在集成電路市場泛不起什么漣漪，但他們并沒有放棄。目前他們正在研發(fā)高端12英寸清洗及氧化設備，現在已經完成樣機的內部工藝試驗，即將送到客戶生產線進行測試。
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